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English DCG3数字式直流溅射电源
特点：
1：采用先进ARM+DSP数字控制技术
2: 具有很高的功率密度
3：输出精度高，工艺重复性好
4：智能的电弧管理系统 提高了抑制打弧及重启速度
5: 恒流/恒功率模式切换,恒功率模式更能保证镀膜工艺的重复性
6：风冷和水冷两种可选的方式适用不同的环境适用
7：操作可面板控制 远程PLC 控制模拟量 PROFIBUS 通讯
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型号 |
ZY/DC(G3)-3000 |
GENCOA Speedflo |
支持 |
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输入电压 |
380-400Vac + PE |
PLC控制模式 |
本地/远程（模拟量、RS485、DP） |
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输入频率 |
50-60HZ |
模拟接口 |
DB-25PIN 0-10V DC |
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电源功率 |
10-80kw |
RS485接口 |
DB-9 Modbus Pin 1A 2B 5GND |
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工作模式 |
恒功率P/恒流I |
DP接口 |
DB-9 ProfiBus Pin 3A 8B 5GND（选配） |
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输出电流Max： |
0-200A |
尺寸[mm] |
4U 19寸 178HX480WX644D |
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输出电压Max： |
0-1000V |
冷却方式 |
水冷+辅助风冷 风向 前进后出 |
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电弧能量Arc |
<0.3mJ/kW |
冷却水管尺寸 |
φ16mm（外径）×φ12mm（内径） |
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输出精度 |
<±0.5%,设定值对比 |
进水压力 |
0.15 to 0.3 Mpa |
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效率 |
额定输出>90% |
进水温度 |
+25 to +35 ℃ |
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重量 |
48-98Kg |
进水流量 |
l/min >10 |
注: 本电源产品可根据客户的要求定制，网站照片和实物可能存在外观上的差异。
| 技术参数 | |
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| 输入电压&频率 | 380-400Vac + PE |
| 输出功率 | 10-80kw |
| 输出电压 | 0-1000V |
| 输出电流 | 0-200A |
