20KW中频电源PECVD MFG4

中频电源 PECVD MFG4---20KW

* 专用于光伏电池片管PECVD成膜，在硅片表面淀积纳米氮化硅薄膜
内置避雷器及浪涌双重保护，FC无源滤波+EMI滤波器，对设备系统0干扰；
* 主电路PFC+(Sic及IGBT)组合全桥电路，结合DSP+FPGA数字控制，
输出稳定方波电压，硅片SPC均匀性<3.95%;
* 新一代Sic半导体器件可靠性>12倍MOSFET;导热性能快4倍；
电源故障率<0.1%;
* 功率变压器采用纳米晶磁芯材料：
具有极高导磁率；高饱和磁感应强度；低损耗；频率特性宽，漏磁性小；体积小；绕制简便耐压易控制，故障风险<1;
* Arc抑弧管理
当检测I-Arc发生可在<10ms内切断并重启电源
当检测V-Arc发生，控制调整在<1μs内启动
残余Arc能量<1mJ/kW,杜绝卡点烧焦；提高良率；卡点烧焦<0.16%;
* Sic器件采用大水路冷却系统+辅助风冷设计
多重温控监测及保护 同进口产品相比温度低4到6度，同尺寸功率密度>10%;
* 配置面板操作及Modbus通讯；双重操作与监控，通讯协议兼容德国霍廷格电源，便于快速安装，连接PLC，操作简单