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English 双极脉冲偏压电源
1：主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合ARM+DSP数字控制技术
3：内置灭弧时间设置10μs-100μs适应不同的工艺及产品 ,显示Arc计数
4：同时检测 V-ARC & I-ARC 快速切断输出 同时启动内置专利技术消除残余电弧能量，避免 基片放电打弧，确保高精膜层 提高镀件的成品率 表面光洁度和膜层结合力
5: 合理调节占空比（10-90%)，可改善和控制成膜速度和温度，增加膜层 性 提高沉积率
6：输出电压0-1000V 无需换挡 辉光清洗和镀膜沉积
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型号 |
ZY/Bias(G3)-4020 |
弧能量（ARC) |
<0.5mJ/kW |
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输入电压 |
380-400Vac + PE |
PLC控制模式 |
本地/远程（模拟量、RS485、DP） |
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输入频率 |
50-60HZ |
模拟接口 |
DB-25PIN 0-10V DC |
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电源功率 |
18KW |
RS485通讯接口 |
DB-9 Modbus Pin 1A 2B 5GND |
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工作模式 |
恒压V |
DP通讯接口 |
DB-9 ProfiBus Pin 3A 8B 5GND（选配） |
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输出电流Max： |
500V/30A |
效率 |
>90%,额定输出为前提 |
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输出电压Max： |
0-1000V/15A |
尺寸[mm] |
4U 19寸 178H*480W*644 D |
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输出频率 |
40-80KHZ |
冷却方式 |
水冷+辅助风冷 前进后出 |
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占空比 |
10-90% |
冷却水管尺寸 |
φ16mm（外径）×φ12mm（内径） |
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反向电压 |
0-50V 可调 |
进水压力 |
0.15 to 0.3 Mpa |
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反向脉冲宽度 |
1-10μS |
进水温度 |
+25 to +35 ℃ |
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输出精度 |
<±1%,设定值对比 |
进水流量 |
l/min >10 |
注: 本电源产品可根据客户的要求定制，网站照片和实物可能存在外观上的差异。
| 技术参数 | |
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| DP通讯接口 | DB-9 ProfiBus Pin 3A 8B 5GND（选配） |
| PLC控制模式 | 本地/远程（模拟量、RS485、DP） |
| RS485通讯接口 | DB-9 Modbus Pin 1A 2B 5GND |
| 占空比 | 10-90% |
| 工作频率 | 40-80KHZ |
| 弧能量 | 0.5mJ/kW |
| 输入电压&频率 | 380-400Vac 3P +PE 50-60HZ |
| 输出功率 | 18KW |
| 输出电压 | 0-1000V/15A |
| 输出电流 | 500V/30A |