双极脉冲偏压电源

1：主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合ARM+DSP数字控制技术

2：频率10-100KHZ 正负脉冲输出

3：内置灭弧时间设置10us-100us适应不同的工艺及靶材 打弧显示计数

4：同时检测 V-ARC & I-ARC 快速切断输出 同时启动内置专利技术消除残余电弧能量，避免 基片放电打弧，确保高精膜层 提高镀件的成品率 表面光洁度和膜层结合力

6: 合理调节频率 间隙时间（1-10us)，可改善和控制成膜速度和温度，增加膜层 性 提高沉积率

7：脉冲/直流 任意切换 满足不同的工艺及基片材料要求

8：输出电压0-1100V 无需换挡 辉光清洗和离子轰击  无缝对接到  沉积时的离

9：操作可面板控制  远程PLC 控制模拟量  PROFIBUS 通讯

注: 本电源产品可根据客户的要求定制，网站照片和实物可能存在外观上的差异。