单极脉冲溅射电源

特点：

1：主回路拓扑采用PFC+全桥构架 结合ARM+DSP数字控制技术

2：内置灭弧时间设置10us-100us 适应不同的工艺及靶 材 打弧显示计数

3： 输出频率20-80KHZ 占空比20-80%可调

4： 恒功率 恒电流 恒电压 满足任意工艺要求

5：明显改善靶面电荷积累现象，减小溅射表面打火次 数，提高膜层质量。

6：脉冲 &直流 两个模式输出，满足不同工艺要求

7：操作可面板控制 远程PLC 控制 模拟量 PROFIBUS 通讯

注: 本电源产品可根据客户的要求定制，网站照片和实物可能存在外观上的差异。