10kW西班牙海普威HIPIMS电源

HiPIMS电源属于脉冲电源的一种，通过降低占空比到低于10%，在相同功率情况下，可以使得磁控溅射峰值电流三个数量级的增加，本文将介绍脉冲波形对于辉光放电特性的影响，为控制不同靶材辉光特性及工艺优化提供参考。

1) 在工艺中，往往希望得到高的峰值电流和低的靶电压，但这两者往往是矛盾的，需要在工艺中综合考虑。

2) HiPIMS电源可调参数多，即使在相同占空比下，针对不同靶材，其脉冲宽度，占空比，靶电压与峰值电流都会出现不同的特性，增加工艺控制手段的同时，也增加了优化难度。

3) 随着靶电压的增加峰值电流密度增加，但是在不同电压段，峰值电流变化趋势不同。

4) 在长脉宽下，金属放电会进入自持放电模式，会降低溅射速度，但可以增加离子种类和数量，需要根据工艺要求择优选择。