PEII正弦波中频电源系列
★ 正弦波输出,谐波小;离化率高,成膜质量好;
★ 优良的电流、电压抑弧管理系统;
★ 负载范围宽,三档负载匹配调节,负载适应范围宽;
★ 储能低,产品良率高,不超过0.5MJ/KW;
★ 具有功率、电流等控制模式。
★ 具有间歇式脉冲功率输出功能;
★ 纯铜板水冷系统;功率密度大;
★ 具有限流、限压、过流、过压、打弧及短路等完善的监控与保护功能。
注: 本电源产品可根据客户的要求定制,网站照片和实物可能存在外观上的差异。
★ 正弦波输出,谐波小;离化率高,成膜质量好;
★ 优良的电流、电压抑弧管理系统;
★ 负载范围宽,三档负载匹配调节,负载适应范围宽;
★ 储能低,产品良率高,不超过0.5MJ/KW;
★ 具有功率、电流等控制模式。
★ 具有间歇式脉冲功率输出功能;
★ 纯铜板水冷系统;功率密度大;
★ 具有限流、限压、过流、过压、打弧及短路等完善的监控与保护功能。
注: 本电源产品可根据客户的要求定制,网站照片和实物可能存在外观上的差异。