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English 30KW中频电源PECVD MFG4
中频电源 PECVD MFG4---30KW
| 项目 | 参数 |
| 输入电压 &频率： | 380 -400Vac 3P +PE 50 -60HZ |
| 输出功率： | 30KW |
| 输出电流 max: | 75A |
| 输出电压 max: | 600V |
| 工作模式： | 恒功率 KW/ 恒流 I |
| 输出波形： | 方波 |
| 工作频率： | 40KHZ / ±0.01% |
| 脉冲关断时间： | 5-1000 ms |
| 脉冲开通时间： | 1-100 ms |
| 脉冲模式： | 0.1ms 步进 |
| 输出通道： | 单通道 |
| 负载匹配 : | 无需切换档位 超宽负载匹配能力 （5-10Ω） |
| 尺寸 mm & 总量 | 4U 19 寸 177 H x 482 W 644 D 48Kg |
| 通讯接口 : | Modbus, 兼容德国TrumRF电源，无缝切换 |
* 专用于光伏电池片管PECVD成膜，在硅片表面淀积纳米氮化硅薄膜
内置避雷器及浪涌双重保护，FC无源滤波+EMI滤波器，对设备系统0干扰；
* 主电路PFC+(Sic及IGBT)组合全桥电路，结合DSP+FPGA数字控制，
输出稳定方波电压，硅片SPC均匀性<3.95%;
* 新一代Sic半导体器件可靠性>12倍MOSFET;导热性能快4倍；
电源故障率<0.1%;
* 功率变压器采用纳米晶磁芯材料：
具有极高导磁率；高饱和磁感应强度；低损耗；频率特性宽，漏磁性小；体积小；绕制简便耐压易控制，故障风险<1;
* Arc抑弧管理
当检测I-Arc发生可在<10ms内切断并重启电源
当检测V-Arc发生，控制调整在<1μs内启动
残余Arc能量<1mJ/kW,杜绝卡点烧焦；提高良率；卡点烧焦<0.16%;
* Sic器件采用大水路冷却系统+辅助风冷设计
多重温控监测及保护 同进口产品相比温度低4到6度，同尺寸功率密度>10%;
* 配置面板操作及Modbus通讯；双重操作与监控，通讯协议兼容德国霍廷格电源，便于快速安装，连接设备PLC，操作简单。